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什么是質(zhì)量流量控制器的工作壓差范圍?

點(diǎn)擊次數(shù):2649 更新時(shí)間:2020-08-06

      質(zhì)量流量控制器(MFC)中設(shè)置有一個(gè)氣體流量調(diào)節(jié)閥門,閥門能使通過控制器的流量從零調(diào)節(jié)到測(cè)量的滿量程,在工作的過程當(dāng)中,控制器的入口和出口之間會(huì)產(chǎn)生一個(gè)氣壓降,即壓差。

      MFC的工作壓差范圍通常為0.1~0.3MPa,若壓差低于*低值(0.1 MPa),有可能控制達(dá)不到滿量程值;若高于*高值(0.3MPa),有可能關(guān)閉時(shí)流量不能小于2%F.S。

      用戶使用MFC時(shí),無論用戶工作的反應(yīng)室是真空還是高壓,應(yīng)做到使MFC進(jìn)出氣兩端的壓差保持在所要求壓差范圍之內(nèi),并且要求氣壓要相對(duì)穩(wěn)定。 

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