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GT180質量流量控制器

GT180質量流量控制器

產品型號:

所屬分類:GT180質量流量控制器

更新時間:2024-07-01

瀏覽次數:7698

簡要描述:GT180質量流量控制器工作原理:氣體通過質量流量傳感器,控制電路通過模數轉換器讀取質量流量傳感器采集信號。控制電路根據傳感器讀取值與控制信號設定值通過相關算法調節(jié)比例閥,從而精準控制氣體輸出流量。

詳細說明:

 

     氣體質量流量控制器(Mass Flow Controller 縮寫為MFC) 用于對氣體的質量流進行精密測量和控制。它們在半導體集成電路工業(yè)、特種材料學科、化學工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保等多種領域的科研和生產中有著重要的作用。典型應用場合有微反應裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細管測量、氣相色譜儀以及其他分析儀器。


l 產品特點

l 經濟適用

l 超低功耗

l 高集成度緊湊型設計

l 多種氣體校準

l RJ45(網口)通用接口

l 數字控制和模擬控制雙模式

l 標準RS485 Modbus RTU通信協(xié)議

l 模擬輸入1-5V/模擬輸出1-5V

l 采用進口高精度傳感器

l 采用進口比例閥控制

l 模糊PID算法,可更改PID控制參數

l 內置環(huán)境氣壓傳感器

l 內置環(huán)境溫度傳感器

l 高重復性

l 低溫度漂移

l 控制參數自整定功能

l 具有自動調零功能

l 電路防浪涌設計

l 具有故障報警功能

 

l 技術特點

l  微處理器控制

MFC內部采用可編程未處理器控制,使用PID控制,可實現(xiàn)不同工況條件下進行高速精確的流量控制。

l  RS-485總線接口

MFC內置RS-485總線接口,可選擇使用RS-485控制或按鍵控制兩種模式??赏ㄟ^RS-485總線組網,實現(xiàn)多臺MFC同時控制。

l  便捷標定方法

可通過專用標定軟件對MFC進行標定,只需將MFC通過RS-485總線與PC連接即可進行標定。

l  緊湊的外形尺寸

MFC尺寸非常小巧緊湊,用戶使用時,不但能夠減小系統(tǒng)體積和重量,同時能夠集成更多的功能模塊。

l  多氣體多量程選擇

MFC可選擇多種氣體種類(H2、N2、Air、He等),用戶可根據用戶手冊及使用需求進行操作選擇。同時,本公司提供不同量程MFC產品,用戶可根據需求進行選。


l 應用范圍

l 氣象色譜儀

l 環(huán)保監(jiān)測設備

l 制氣配氣

l CVD材料制備裝置

l 半導體/光伏設備

l 生物發(fā)酵/醫(yī)療儀器

l 其他實驗室分析儀器

 

 

l 技術參數

項目

參數信息

最大量程

50sccm~20slpm(可定制)

精度

±1%F.S.

線性

±1%F.S.

重復精度

±0.2%F.S.

氣體類型

H2/He/N2/Air/Ar(可定制))

響應時間

1s

壓差范圍

<1MPa

工作溫度

0~50

工作濕度

0~95%R.H.(非冷凝)

工作電壓

24V±10%/12V±10%

信號接口

RS-485Modbus),模擬電壓信號

氣路材質

不銹鋼/鋁合金/鋁合金惰性涂層

氣路接口

1/16

尺寸

50×24×55mm


l 外形尺寸      

 

單位:毫米(mm

圖片3.jpg

l 接口定義

 

l 產品選型

 

微信圖片_20211026173011.png

 

                                                                                                                                                               

感謝您購買使用吉思特GT180質量流量控制器(MFC)。

本手冊描述了GT180質量流量控制器功能、性能以及使用產品達到最佳使用效果的應用方法。

請在使用該產品時注意以下事項:

l  在使用該產品前應通讀并理解本手冊以確保正確的使用。

l  使用該產品人員應具有基本的電氣系統(tǒng)知識。

l  請妥善保管本手冊以確保在需要時可以隨時查閱。

                                                                                                                                                                         

注意事項

l  通電期間,請勿觸碰端子。

l  不得讓金屬物體、導線、液體等進入控制器,否則引起設備短路、觸電或火災等危險事件。

l  請勿將本產品置于易燃易爆等場合。

l  絕對不要拆卸、改裝以及修理該產品或解除任何內部元件。

l  請設定適合系統(tǒng)控制使用的產品參數。如果設定不當,可能會因意外操作而造成財產損失或事故。

l  請在規(guī)定的時間內對該設備進行標定,以確保設備的準確性。

l  設備通電前,請確認接線是否正確,供電電壓是否符合使用手冊要求。

l  使用氣體必須凈化,切忌粉塵、液體和油污。必要時,須在氣路中加裝過濾器等。

l  使用前,請確認使用氣體是否與標定氣體相符,以免導致流量數據錯誤。

l  請勿使用腐蝕性氣體,以免MFC氣路損壞。

                                                                                                                                                                               

保修與服務

l  本公司生產的MFC產品在出貨1年以內,如果用戶按照使用手冊正常使用,且產品沒有遭受物理損害、污染、改裝或翻新,若有問題,免費維修。

l  免費維修范圍,不包含氣路接頭及氣路接頭密封圈。

l  請收到產品后及時對產品進行驗收,出現(xiàn)問題請及時反饋銷售人員。

l  保修期內,產品必須由本公司或授權的服務中心修理。

l  用戶使用過有毒、有污染或腐蝕性氣體的產品,本公司將不負責修理或保修。

l  輸入的氣體壓力必須符合產品的耐壓標準, 不能超過該產品要求的最大壓力。

l  產品的使用氣體必須與用戶訂貨選擇的密封材料相適應, 用戶有責任按照可用的安全規(guī)章使用每種氣體。不正確的使用產品會使保修無效,由于不正確的使用所導致的損害不能歸咎于本公司。

l  禁止自行拆開MFC。如果自行拆卸造成損壞,則本公司承諾的保修無效。

                                                                                                                                                                               

天津吉思特儀器儀表有限公司

 

 

 



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